本报讯 （通讯员 胡雪雯 刘梦颖） 2月17日，微纳科学与分析测试协同创新中心（以下简称为“微纳中心”）与自旋芯片与技术全国重点实验室（以下简称为“自旋芯片实验室”）在北航杭州国际校园正式揭牌，并启动首台核心设备入场调试工作。

微纳中心与自旋芯片实验室同规划、同建设、强耦合，将服务国家重大战略需求和区域经济发展，培养集成电路等方向紧缺人才，解决集成电路“卡脖子”问题，建设国际一流的自旋芯片创新团队，建成国内领先、以自旋芯片为特色的微纳科学与分析测试公共创新平台，具备10纳米尺寸图形化能力、单原子层精度材料生长及刻蚀能力、皮秒级超快表征测试能力、8英寸可扩展晶圆加工能力。自旋芯片实验室按照“4+2+2”科研组织架构，将组建自旋芯片材料与物理、自旋存储与存算器件、自旋芯片工艺与集成、自旋芯片表征与设备4个研究团队，建设自旋芯片特色工艺、自旋芯片特色测试2个公共平台，打造自旋芯片国际合作、自旋芯片校企合作2个协同创新中心。

近年来，自旋芯片实验室先后攻克3项“卡脖子”技术，研制多个“首台套”集成电路设备，承担国家级重大项目200余项，在Nature、Science等期刊发表论文19篇。

该实验室科研实力雄厚，现有全职教师52人，成功引进国务院特殊津贴获得者、中国科学院院士有效候选人赵建华教授和IEEE电路与系统学会前主席Amara教授，45岁以下中青年科研骨干占比超80%。

自旋芯片实验室成果的落地转化，有力推动余杭相关产业发展，致真精密仪器（杭州）有限公司、致真精密设备（杭州）有限公司是其中的典型代表。

目前，致真精密仪器已完成低温超导磁场探针台、全开放强磁场低温光学平台、科研型高频磁场探针台等多款产品的研制和产业化，服务中国科学技术大学、复旦大学、中国科学院空天信息研究院等多家科研单位。2024年，该公司营收超1800万元，累计融资1.45亿元，还拿下了中国仪器仪表学会技术发明一等奖等荣誉。

致真精密设备与自旋芯片实验室团队合作开展12英寸集成电路薄膜装备的研发与产业化。未来，双方将聚焦8寸、12寸高端集成电路装备的研发、生产和制造，预计落地后三年可实现营收超2000万元。